氣體的監(jiān)測和分析是檢查氣體質量、確保用氣點或用氣設備能所用高純氣體的重要手段,也是保證安全生產的重要措施。高純氣體的監(jiān)測與分析,只有采用先進的分析方法和精密的分析儀器,才能獲得精i確的分析數(shù)據(jù)。氣體監(jiān)測和分析的重要性隨著晶片的幾何結構縮小,集成電路集成度的不斷提高,即使有極微量的氣態(tài)雜質的沾污和的塵埃污染,也會給生產帶來嚴重的破壞性。
從氣體種類上來說,空分氣體(氮氣、氧氣和氬氣)仍是工業(yè)氣體的主要產品,份額占一半以上。合成氣體(氫氣、二氧化碳、乙i炔等)有35%左右。特種氣體(高純氣體和電子特種氣體)占8-10%的份額。從應用上來說,冶金用空分氣體較多,化工行業(yè)用合成氣體較多,而特種氣體更多用于電子行業(yè)。從氣體供應角度來說,不同的供應模式有著不同的特點。
是一種主要由組成的氣態(tài)化石燃料。它主要存在于油田和田,也有少量出于煤層。也同原i油一樣埋藏在地下封閉的地質構造之中,有些和原i油儲藏在同一層位,有些單獨存在。對于和原i油儲藏在同一層位的,會伴隨原i油一起開采出來。主要用途是作燃料,可制造炭黑、化學藥品和液化石i油氣,由生產的丙烷、丁烷是現(xiàn)代工業(yè)的重要原料。主要由氣態(tài)低分子烴和非烴氣體混合組成。